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等离子刻蚀机与等离子蚀刻机是同一种设备，主要用于干刻蚀工艺中，其作用及工作原理如下：
作用：
等离子刻蚀机主要用于对材料表面进行加工处理，如微电子工业中的集成电路制造、半导体材料加工等，通过等离子刻蚀技术，可以实现高精度的材料去除，同时保持材料表面的良好质量，它还可以应用于金属加工、陶瓷加工、塑料加工等领域。
工作原理：
等离子刻蚀机的工作原理基于等离子体的化学反应性，在真空环境下，通过射频电源激发工作气体（如四氟化碳等）形成等离子体状态，这些处于活化状态的离子会加速撞击材料表面，同时引发化学反应并产生挥发性物质，从而达到去除材料的目的，等离子体的能量能够激活材料表面，增强化学反应速率，实现更高效的刻蚀过程，等离子刻蚀机还配备真空系统、气体控制系统和控制系统等辅助系统，以确保整个刻蚀过程的稳定性和精确性。
等离子刻蚀机在制造和加工领域具有广泛的应用前景，其工作原理基于等离子体的化学反应性和物理撞击作用来实现高精度的材料去除和表面处理。
